Production of a thin single crystalline silicon layer on top of a low-stress silicon nitride membrane

Stefan Sanchez (Keynote speaker)

    Activity: Talk or presentationOral presentation

    Description

    Opmerking: Key-note speaker Plaats van uitgifte: Utrecht
    Period4 Oct 1995
    Event titleVoordracht, Stichting ruimte onderzoek nederland (SRON)
    Event typeConference
    LocationUtrecht

    Keywords

    • METIS-116450