Technological routes and processing steps for the fabrication of Si/SiN membranes

Stefan Sanchez (Invited speaker)

    Activity: Talk or presentationOral presentation

    Description

    Opmerking: Invited Plaats van uitgifte: Jena, Duitsland
    Period5 Feb 1996
    Event titleVoordracht, IPHT
    Event typeConference
    LocationJena, Duitsland

    Keywords

    • METIS-116452