Ahvenniemi, E., Akbashev, A. R., Ali, S., Bechelany, M., Berdova, M., Boyadjiev, S., Cameron, D. C., Chen, R., Chubarov, M., Cremers, V., Devi, A., Drozd, V., Elnikova, L., Gottardi, G., Grigoras, K., Hausmann, D. M., Hwang, C. S., Jen, S. H., Kallio, T. & Kanervo, J.
& 42 others,
Khmelnitskiy, I., Kim, D. H., Klibanov, L., Koshtyal, Y., Krause, A. O. I., Kuhs, J., Karkkanen, I., Kaariainen, M. L., Kaariainen, T., Lamagna, L., Lapicki, A. A., Leskela, M., Lipsanen, H., Lyytinen, J., Malkov, A., Malygin, A., Mennad, A., Militzer, C., Molarius, J., Norek, M., Ozgit-Akgun, C., Panov, M., Pedersen, H., Piallat, F., Popov, G., Puurunen, R. L., Rampelberg, G., Ras, R. H. A., Rauwel, E., Roozeboom, F., Sajavaara, T., Salami, H., Savin, H., Schneider, N., Seidel, T. E., Sundqvist, J., Suyatin, D. B., Torndahl, T., van Ommen, J. R., Wiemer, C., Ylivaara, O. M. E. & Yurkevich, O.,
2016,
In: Journal of vacuum science & technology A: vacuum, surfaces, and films. 35,
1, 010801.
Research output: Contribution to journal › Review article › Academic › peer-review