Simon Stevin Meester 1998

  • Elwenspoek, M. C. (Recipient)

    Prize

    Description

    Prof.dr. M.C. Elwenspoek is benoemd tot Simon Stevin Meester vanwege zijn succesvolle fundamentele werk en simulaties op het gebied van etstechnieken voor het maken van driedimensionale structuren in silicium. Deze ontwikkelingen passen naadloos in de trend om kleine, zelfstandig opererende systemen te maken
    Granting OrganisationsNWO Toegepaste en Technische Wetenschappen (TTW)