Chemical Mechanical Polishing of Metal: halfjaarlijkse rapportage Philips gebruikersgroep (01-02-1998)

V. Nguyen Hoang, H. van Kranenburg, P.H. Woerlee

Research output: Book/Report › Report › Professional

Cite this

@book{3660e90e69cf462e8b14d6214e37ae40,

title = "Chemical Mechanical Polishing of Metal: halfjaarlijkse rapportage Philips gebruikersgroep (01-02-1998)",

author = "\{Nguyen Hoang\}, V. and \{van Kranenburg\}, H. and P.H. Woerlee",

note = "Halfjaarlijkse rapportage Philips gebruikersgroep (01-02-1998) ",

year = "1998",

month = feb,

day = "1",

language = "English",

publisher = "University of Twente",

address = "Netherlands",

}

TY - BOOK

T1 - Chemical Mechanical Polishing of Metal

T2 - halfjaarlijkse rapportage Philips gebruikersgroep (01-02-1998)

AU - Nguyen Hoang, V.

AU - van Kranenburg, H.

AU - Woerlee, P.H.

N1 - Halfjaarlijkse rapportage Philips gebruikersgroep (01-02-1998)

PY - 1998/2/1

Y1 - 1998/2/1

M3 - Report

BT - Chemical Mechanical Polishing of Metal

PB - University of Twente

CY - Enschede, the Netherlands

ER -