Een resonerende siliciumblak als precisiekrachtsensor

  • F.R. Blom
  • , C.J. van Mullem

    Research output: Contribution to journalArticleProfessional

    Original languageDutch
    Pages (from-to)22-28
    Number of pages7
    JournalMikroniek
    Volume30
    Issue number1
    Publication statusPublished - 1990

    Cite this