Een resonerende siliciumblak als precisiekrachtsensor

F.R. Blom, C.J. van Mullem

    Research output: Contribution to journalArticleProfessional

    Original languageUndefined
    Pages (from-to)22-28
    Number of pages7
    JournalMikroniek
    Volume1
    Issue number30
    Publication statusPublished - 1990

    Keywords

    • METIS-116924

    Cite this