Het voordeel van UHV in een Helium Ionen Microscoop

V. Veligura, G. Hlawacek, Raoul van Gastel, Henricus J.W. Zandvliet, Bene Poelsema

Research output: Contribution to journal › Article › Academic

Keywords

@article{00dbc6ffe98b4c2fb2d6c74c94cb40d5,

title = "Het voordeel van UHV in een Helium Ionen Microscoop",

keywords = "METIS-300344, IR-90074",

author = "V. Veligura and G. Hlawacek and {van Gastel}, Raoul and Zandvliet, {Henricus J.W.} and Bene Poelsema",

year = "2013",

language = "Dutch",

volume = "51",

pages = "6--9",

journal = "NEVAC blad",

issn = "0169-9431",

publisher = "Nederlandse Vacuumvereniging",

number = "2",

}