Het voordeel van UHV in een Helium Ionen Microscoop

Helium-ionenmicroscopie (HIM) is een nieuwe microscopietechniek met een grote oppervlaktegevoeligheid, een hoge ruimtelijke resolutie en een aantal verschillende contrastmechanismes. Daarnaast kan HIM gebruikt worden voor de modificatie van oppervlakken en voor nanofabricage. Een optimale toepassing van de techniek wordt
echter mogelijk belemmerd door een ontoereikend vacuüm. Dit hangt samen met een koolstoflaag die onder invloed van de ionenbundel wordt afgezet. Om de effecten van een verbeterd vacuüm te onderzoeken hebben we een standaard HIM op verschillende punten aangepast. We laten zien hoe de sterk verbeterde vacuümcondities het mogelijk maken diverse preparaten, waaronder bijvoorbeeld Au(111) en zelf-ordenende moleculaire lagen, af te beelden zonder de ongewenste opbouw van koolstof ten gevolge van de ionenbundel. We laten tevens zien hoe gereflecteerd helium gebruikt kan worden voor het afbeelden van moleculaire monolagen en van structuren die vele nanometers onder het oppervlak liggen.