Improved Al2O3 and SiO2-MOCVD-coatings by lowering the internal stresser

R. Hofman, R.W.J. Morsinkhof, J.G.F. Westheim, T. Fransen, P.J. Gellings

Research output: Contribution to conferencePosterOther research output

Original languageUndefined
Pages-
Publication statusPublished - 9 Jan 1992
EventBijeenkomst SON-werkgemeenschap voor Vaste Stoffen en Materiaalkunde 1992 - Lunteren, Netherlands
Duration: 9 Jan 19929 Jan 1992

Seminar

SeminarBijeenkomst SON-werkgemeenschap voor Vaste Stoffen en Materiaalkunde 1992
CountryNetherlands
CityLunteren
Period9/01/929/01/92

Keywords

  • METIS-110011

Cite this