Inrichting en werkwijze voor microbewerking van een werkstuk met een excimer laser

J. Meijer (Inventor), T. Masuzawa (Inventor)

Research output: PatentProfessional

Original languageUndefined
Patent number1e 1013998
Priority date30/12/99
Publication statusIn preparation - 30 Dec 1999

Keywords

  • METIS-148442

Cite this

Meijer, J., & Masuzawa, T. (1999). Inrichting en werkwijze voor microbewerking van een werkstuk met een excimer laser. Manuscript in preparation. (Patent No. 1e 1013998).
@misc{0b71ec9030cd490b9a2bf87ecfb24786,
title = "Inrichting en werkwijze voor microbewerking van een werkstuk met een excimer laser",
keywords = "METIS-148442",
author = "J. Meijer and T. Masuzawa",
note = "Aanvraag octrooi door UT-er ; 1e 1013998",
year = "1999",
month = "12",
day = "30",
language = "Undefined",
type = "Patent",

}

Inrichting en werkwijze voor microbewerking van een werkstuk met een excimer laser. / Meijer, J. (Inventor); Masuzawa, T. (Inventor).

Patent No.: 1e 1013998.

Research output: PatentProfessional

TY - PAT

T1 - Inrichting en werkwijze voor microbewerking van een werkstuk met een excimer laser

AU - Meijer, J.

AU - Masuzawa, T.

N1 - Aanvraag octrooi door UT-er

PY - 1999/12/30

Y1 - 1999/12/30

KW - METIS-148442

M3 - Patent

M1 - 1e 1013998

ER -