Kombinierter Reflektor und Filter für Licht underschiedlicher Wellenlängen

Viacheslav Medvedev (Inventor), Andrey Yakshin (Inventor), V.M. Krivtsun (Inventor), Frederik Bijkerk (Inventor)

Research output: PatentProfessional

Abstract

Die vorliegende Erfindung betrifft einen Bragg-Reflektor (12) für ein optisches Element einer optischen Anordnung, insbesondere einer Projektionsbelichtungsanlage, mit einer Vielzahl von alternierend angeordneten Schichten (13, 14) mit unterschiedlichem Brechungsindex zur Reflexion von Licht, wobei die Schichten abwechselnd aus einer halbleitenden, binären Verbindung, insbesondere MoP, Ru2Si3 oder YN und Silizium gebildet sind. Außerdem betrifft die Erfindung ein kombiniertes Spiegel- und Filterelement für eine optische Anordnung, insbesondere eine Projektionsbelichtungsanlage, mit einem Substrat (10) und einem auf dem Substrat angeordneten Bragg-Reflektor (12), wie oben beschrieben.
Original languageGerman
Patent numberP20448DE1
Priority date11/05/15
Publication statusSubmitted - 18 Feb 2016

Keywords

  • IR-100238
  • METIS-316394

Cite this

Medvedev, V., Yakshin, A., Krivtsun, V. M., & Bijkerk, F. (2016). Kombinierter Reflektor und Filter für Licht underschiedlicher Wellenlängen. Manuscript submitted for publication. (Patent No. P20448DE1).
@misc{a7ce86056f2841a6bb19b6c2693b51ac,
title = "Kombinierter Reflektor und Filter f{\"u}r Licht underschiedlicher Wellenl{\"a}ngen",
abstract = "Die vorliegende Erfindung betrifft einen Bragg-Reflektor (12) f{\"u}r ein optisches Element einer optischen Anordnung, insbesondere einer Projektionsbelichtungsanlage, mit einer Vielzahl von alternierend angeordneten Schichten (13, 14) mit unterschiedlichem Brechungsindex zur Reflexion von Licht, wobei die Schichten abwechselnd aus einer halbleitenden, bin{\"a}ren Verbindung, insbesondere MoP, Ru2Si3 oder YN und Silizium gebildet sind. Au{\ss}erdem betrifft die Erfindung ein kombiniertes Spiegel- und Filterelement f{\"u}r eine optische Anordnung, insbesondere eine Projektionsbelichtungsanlage, mit einem Substrat (10) und einem auf dem Substrat angeordneten Bragg-Reflektor (12), wie oben beschrieben.",
keywords = "IR-100238, METIS-316394",
author = "Viacheslav Medvedev and Andrey Yakshin and V.M. Krivtsun and Frederik Bijkerk",
year = "2016",
month = "2",
day = "18",
language = "German",
type = "Patent",
note = "P20448DE1",

}

Kombinierter Reflektor und Filter für Licht underschiedlicher Wellenlängen. / Medvedev, Viacheslav (Inventor); Yakshin, Andrey (Inventor); Krivtsun, V.M. (Inventor); Bijkerk, Frederik (Inventor).

Patent No.: P20448DE1.

Research output: PatentProfessional

TY - PAT

T1 - Kombinierter Reflektor und Filter für Licht underschiedlicher Wellenlängen

AU - Medvedev, Viacheslav

AU - Yakshin, Andrey

AU - Krivtsun, V.M.

AU - Bijkerk, Frederik

PY - 2016/2/18

Y1 - 2016/2/18

N2 - Die vorliegende Erfindung betrifft einen Bragg-Reflektor (12) für ein optisches Element einer optischen Anordnung, insbesondere einer Projektionsbelichtungsanlage, mit einer Vielzahl von alternierend angeordneten Schichten (13, 14) mit unterschiedlichem Brechungsindex zur Reflexion von Licht, wobei die Schichten abwechselnd aus einer halbleitenden, binären Verbindung, insbesondere MoP, Ru2Si3 oder YN und Silizium gebildet sind. Außerdem betrifft die Erfindung ein kombiniertes Spiegel- und Filterelement für eine optische Anordnung, insbesondere eine Projektionsbelichtungsanlage, mit einem Substrat (10) und einem auf dem Substrat angeordneten Bragg-Reflektor (12), wie oben beschrieben.

AB - Die vorliegende Erfindung betrifft einen Bragg-Reflektor (12) für ein optisches Element einer optischen Anordnung, insbesondere einer Projektionsbelichtungsanlage, mit einer Vielzahl von alternierend angeordneten Schichten (13, 14) mit unterschiedlichem Brechungsindex zur Reflexion von Licht, wobei die Schichten abwechselnd aus einer halbleitenden, binären Verbindung, insbesondere MoP, Ru2Si3 oder YN und Silizium gebildet sind. Außerdem betrifft die Erfindung ein kombiniertes Spiegel- und Filterelement für eine optische Anordnung, insbesondere eine Projektionsbelichtungsanlage, mit einem Substrat (10) und einem auf dem Substrat angeordneten Bragg-Reflektor (12), wie oben beschrieben.

KW - IR-100238

KW - METIS-316394

M3 - Patent

M1 - P20448DE1

ER -