Meerlagenspiegel voor straling in het XUV-golflengtegebied en werkwijze voor de vervaardiging daarvan

Bijkerk Frederik (Inventor), Verhoeven Jan (Inventor), Marcus J.H. Kessels (Inventor), Eric Louis (Inventor), Markus J.H. Den Hartog (Inventor)

Research output: Patent

10 Downloads (Pure)

Access to Document

@misc{f189ff9742ad4f049906a06448b06c96,

title = "Meerlagenspiegel voor straling in het XUV-golflengtegebied en werkwijze voor de vervaardiging daarvan",

author = "Bijkerk Frederik and Verhoeven Jan and Kessels, {Marcus J.H.} and Eric Louis and {Den Hartog}, {Markus J.H.}",

year = "2002",

month = nov,

day = "26",

language = "Dutch",

type = "Patent",

note = "NL1018139C; G21K 1/ 06 A I",

}