Micro-elektromechanische schakelaars voor mobiele telefoons

Peter Steeneken, Hilco Suy, R.W. Herfst, Martijn Goossens, Joost van Beek, Jurriaan Schmitz

    Research output: Contribution to journalArticleAcademic

    Abstract

    Schakelaars op basis van Radio Frequentie Micro ElektroMechanische Systemen (RF MEMS) kunnen een belangrijke vooruitgang betekenen voor de radiotechnologie. RF-signalen worden hiermee geschakeld door het bewegen van een van de platen van een parallelle-plaatcondensator met behulp van een elektrostatische kracht. Het resulterende verschil in capaciteitswaarde tussen twee stabiele standen zorgt voor de schakelfunctie. In dit artikel wordt ingegaan op de fysica en toepassing van deze microsystemen
    Original languageUndefined
    Pages (from-to)314-317
    Number of pages4
    JournalNederlands tijdschrift voor natuurkunde
    Volume73e jaarga
    Issue number9
    Publication statusPublished - 1 Sep 2007

    Keywords

    • SC-ICRY: Integrated Circuit Reliability and Yield
    • EWI-11035
    • METIS-245732
    • IR-61907

    Cite this

    Steeneken, P., Suy, H., Herfst, R. W., Goossens, M., van Beek, J., & Schmitz, J. (2007). Micro-elektromechanische schakelaars voor mobiele telefoons. Nederlands tijdschrift voor natuurkunde, 73e jaarga(9), 314-317.