Micro-elektromechanische schakelaars voor mobiele telefoons

Peter Steeneken; Hilco Suy; R.W. Herfst; Martijn Goossens; Joost van Beek; Jurriaan Schmitz

Micro-elektromechanische schakelaars voor mobiele telefoons

Peter Steeneken, Hilco Suy, R.W. Herfst, Martijn Goossens, Joost van Beek, Jurriaan Schmitz

Research output: Contribution to journal › Article › Academic

Abstract

Schakelaars op basis van Radio Frequentie Micro ElektroMechanische Systemen (RF MEMS) kunnen een belangrijke vooruitgang betekenen voor de radiotechnologie. RF-signalen worden hiermee geschakeld door het bewegen van een van de platen van een parallelle-plaatcondensator met behulp van een elektrostatische kracht. Het resulterende verschil in capaciteitswaarde tussen twee stabiele standen zorgt voor de schakelfunctie. In dit artikel wordt ingegaan op de fysica en toepassing van deze microsystemen

Original language	Undefined
Pages (from-to)	314-317
Number of pages	4
Journal	Nederlands tijdschrift voor natuurkunde
Volume	73e jaarga
Issue number	9
Publication status	Published - 1 Sep 2007

Keywords

SC-ICRY: Integrated Circuit Reliability and Yield
EWI-11035
METIS-245732
IR-61907

Access to Document

http://eprints.eemcs.utwente.nl/secure2/11035/01/MEMS.pdf

Cite this

@article{a4ede1fc8e8e4abcb8c08eb8e7c1099e,

title = "Micro-elektromechanische schakelaars voor mobiele telefoons",

abstract = "Schakelaars op basis van Radio Frequentie Micro ElektroMechanische Systemen (RF MEMS) kunnen een belangrijke vooruitgang betekenen voor de radiotechnologie. RF-signalen worden hiermee geschakeld door het bewegen van een van de platen van een parallelle-plaatcondensator met behulp van een elektrostatische kracht. Het resulterende verschil in capaciteitswaarde tussen twee stabiele standen zorgt voor de schakelfunctie. In dit artikel wordt ingegaan op de fysica en toepassing van deze microsystemen",

keywords = "SC-ICRY: Integrated Circuit Reliability and Yield, EWI-11035, METIS-245732, IR-61907",

author = "Peter Steeneken and Hilco Suy and R.W. Herfst and Martijn Goossens and {van Beek}, Joost and Jurriaan Schmitz",

note = "http://www.phys.uu.nl/~nnv/ntvn/",

year = "2007",

month = sep,

day = "1",

language = "Undefined",

volume = "73e jaarga",

pages = "314--317",

journal = "Nederlands tijdschrift voor natuurkunde",

issn = "0926-4264",

publisher = "Nederlandse Natuurkundige Vereniging (NNV)",

number = "9",

}

TY - JOUR

T1 - Micro-elektromechanische schakelaars voor mobiele telefoons

AU - Steeneken, Peter

AU - Suy, Hilco

AU - Herfst, R.W.

AU - Goossens, Martijn

AU - van Beek, Joost

AU - Schmitz, Jurriaan

N1 - http://www.phys.uu.nl/~nnv/ntvn/

PY - 2007/9/1

Y1 - 2007/9/1

N2 - Schakelaars op basis van Radio Frequentie Micro ElektroMechanische Systemen (RF MEMS) kunnen een belangrijke vooruitgang betekenen voor de radiotechnologie. RF-signalen worden hiermee geschakeld door het bewegen van een van de platen van een parallelle-plaatcondensator met behulp van een elektrostatische kracht. Het resulterende verschil in capaciteitswaarde tussen twee stabiele standen zorgt voor de schakelfunctie. In dit artikel wordt ingegaan op de fysica en toepassing van deze microsystemen

AB - Schakelaars op basis van Radio Frequentie Micro ElektroMechanische Systemen (RF MEMS) kunnen een belangrijke vooruitgang betekenen voor de radiotechnologie. RF-signalen worden hiermee geschakeld door het bewegen van een van de platen van een parallelle-plaatcondensator met behulp van een elektrostatische kracht. Het resulterende verschil in capaciteitswaarde tussen twee stabiele standen zorgt voor de schakelfunctie. In dit artikel wordt ingegaan op de fysica en toepassing van deze microsystemen

KW - SC-ICRY: Integrated Circuit Reliability and Yield

KW - EWI-11035

KW - METIS-245732

KW - IR-61907

M3 - Article

VL - 73e jaarga

SP - 314

EP - 317

JO - Nederlands tijdschrift voor natuurkunde

JF - Nederlands tijdschrift voor natuurkunde

SN - 0926-4264

IS - 9

ER -