Microfiltratie

C.J.M. van Rijn, W. Nijdam

    Research output: Contribution to journalArticleProfessional

    19 Downloads (Pure)

    Abstract

    Recente ontwikkelingen in de micromechanica maken het mogelijk miniatuurelementen te maken, zoals druk- en flowmeters, inkjet-nozzles, kleppen, vloeistofkanalen, verwarmingselementen, micropompen, mengers, mocrotandwielen en zelfs miniatuurkoelers. De revolutie van de micromechanica is mogelijk gemaakt door het gebruik van dunne film- en fotolithografische technieken die oorspronkelijk waren bedoeld voor fabricage van elektronische componenten. In de micromechanica wordt tevens dankbaar gebruik gemaakt van de uitstekende mechanische eigenschappen van materialen die van oudsher in de halfgeleiderindustrie gebruikt worden, zoals silicium, siliciumnitride, aluminiumoxide, etc. We zullen laten zien dat deze materialen ook gebruikt kunnen worden voor het met grote precisie maken van dunne maar zeer robuuste microzeven.
    Original languageUndefined
    Pages (from-to)43-46
    JournalMikroniek
    Volume35
    Issue number2
    Publication statusPublished - 1995

    Keywords

    • METIS-116915
    • IR-97719

    Cite this