M.O. multilayer sputter-gun system

W.P. van Drent, J.C. Lodder, U. Enz, T.J.A. Popma

    Research output: Contribution to conferencePosterOther research output

    Original languageEnglish
    Number of pages1
    Publication statusPublished - 11 May 1992
    EventWetenschappelijke Vergadering FOM-Werkgemeenschap Materialen 1992 - Veldhoven, Netherlands
    Duration: 11 May 199212 May 1992

    Conference

    ConferenceWetenschappelijke Vergadering FOM-Werkgemeenschap Materialen 1992
    Country/TerritoryNetherlands
    CityVeldhoven
    Period11/05/9212/05/92

    Cite this