| Original language | Undefined |
|---|---|
| Place of Publication | Enschede |
| Publisher | University of Twente |
| Number of pages | 5 |
| Publication status | Published - 13 Jan 1993 |
Keywords
- METIS-133012
Onderzoek naar de kwaliteit van een SiOx film aangegroeid op een Si(001) substraat
Enrico G. Keim, T. Kachlicki
Research output: Book/Report › Report › Professional