Onderzoek naar de kwaliteit van een SiOx film aangegroeid op een Si(001) substraat

Enrico G. Keim, T. Kachlicki

Research output: Book/ReportReportProfessional

Original languageUndefined
Place of PublicationEnschede
PublisherUniversiteit Twente
Number of pages5
Publication statusPublished - 13 Jan 1993

Keywords

  • METIS-133012

Cite this