Ontwerpgereedschappen voor geintegreerde optische schakelingen

R.M. de Ridder, Hugo Hoekstra, F.H.G.M. Wijnands, Frank Wijnands, Xaveer Leijtens, Meint K. Smit, Cor van Dam

    Research output: Contribution to journalArticleProfessional

    13 Downloads (Pure)

    Abstract

    De geintegreerde optica is een relatief jong vakgebied. De gereedschappen die een ontwerper op dit terrein ter beschikking staan zijn dan ook minder ver ontwikkeld dan die voor de micro-electronica. Tevens zijn dergelijke hulpmiddelen nauwelijks commercieel verkrijgbaar. Dit heeft geleid tot een grote varieteit aan onderling weinig compatibele computerprogramma's, die niet voor alle onderzoekers even gemakkelijk toegankelijk zijn. Van groot belang is de onderlinge koppeling van ontwerpgegevens, simulatiemodellen en patronen van de voor de vervaardiging benodigde lithografische maskers. Om deze redenen is in het Innovatief Onderzoeksprogramma "Elektro-Optics" een samenwerkingsproject geinitieerd van groepen aan de Technische Universiteit Delft, de Universiteit Twente en PTT Research.
    Original languageUndefined
    Pages (from-to)5-12
    JournalNederlands Tijdschrift voor Fotonica
    Volume20
    Issue number1
    Publication statusPublished - 1994

    Keywords

    • METIS-116878
    • IR-97920

    Cite this