Abstract
Het vakgebied MST wordt gestimuleerd door twee ontwikkelingen, die alkaar wederzijds beinvloeden. De eerste is de drang naar miniaturisatie en de tweede is de beschikbaarheid van nieuwe technologieen. Op beide ontwikkelingen zal ik kort ingaan.
| Original language | Undefined |
|---|---|
| Pages (from-to) | 142-144 |
| Journal | Mikroniek |
| Volume | 37 |
| Issue number | 5 |
| Publication status | Published - 1997 |
Keywords
- METIS-111502
- IR-97742