Op weg naar het oppervlak: ontwerp van een snelheidsselectieve thermische depositiebron

Research output: Contribution to journal › Article › Professional

Cite this

@article{a5c0bad209f34a01960ad8dbbbf57632,

title = "Op weg naar het oppervlak: ontwerp van een snelheidsselectieve thermische depositiebron",

author = "Rabbering, \{Frits L.W.\} and Herbert Wormeester and Bene Poelsema",

year = "2002",

language = "Dutch",

volume = "40",

pages = "69--75",

journal = "NEVAC blad",

issn = "0169-9431",

publisher = "Nederlandse Vacuumvereniging",

number = "3",

}