Probe for an atomic force microscope and method for making such a probe

A.G. van den Bos (Inventor), Leon Abelmann (Inventor), J.C. Lodder (Inventor)

    Research output: Patent

    21 Downloads (Pure)

    Abstract

    De uitvinding heeft betrekking op een probe voor een magnetische kracht-microscoop, omvattende een in een wafervlak geplaatste beweegbare cantilever en een in hoofdzaak loodrecht op de cantilever geplaatste tip, waarbij de cantilever beweegbaar is en een trillingsrichting heeft in het wafervlak, en d etip nagenoeg in of evenwijdig aan dit wafervlak ligt.
    Original languageUndefined
    Patent numberUS20050499174
    Priority date24/06/03
    Publication statusSubmitted - 11 May 2005

    Keywords

    • IR-64559
    • EWI-11652
    • METIS-212052
    • TST-MFM: Magnetic Force Microscope
    • SMI-EXP: EXPERIMENTAL TECHNIQUES

    Cite this