Abstract
De uitvinding heeft betrekking op een probe voor een magnetische kracht-microscoop, omvattende een in een wafervlak geplaatste beweegbare cantilever en een in hoofdzaak loodrecht op de cantilever geplaatste tip, waarbij de cantilever beweegbaar is en een trillingsrichting heeft in het wafervlak, en d etip nagenoeg in of evenwijdig aan dit wafervlak ligt.
Original language | Undefined |
---|---|
Patent number | US20050499174 |
Priority date | 24/06/03 |
Publication status | Submitted - 11 May 2005 |
Keywords
- IR-64559
- EWI-11652
- METIS-212052
- TST-MFM: Magnetic Force Microscope
- SMI-EXP: EXPERIMENTAL TECHNIQUES