Abstract
De uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het vervaardigen van een probe voor magnetische kracht microscopie. De tip wordt gevormd in een bewerking met een gefocusseerde ionen-straal.
Original language | Undefined |
---|---|
Patent number | NL1020327 |
Publication status | Submitted - 12 Jan 2003 |
Keywords
- IR-64561
- SMI-EXP: EXPERIMENTAL TECHNIQUES
- EWI-11654
- TST-MFM: Magnetic Force Microscope