Prozessüberwachung beim Laserreinigen und Laserschichtabtrag durch Anwendung der Plasmaanalyse mittels "low resolution" Spektrometer

M. Lentjes, Klaus Dickmann, J. Meijer

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    Abstract

    Bei der Laserreinigung und dem Laserabtrag an Mehrschichtsystemen ist es von großer Bedeutung, eine Be-schädigung der zu erhaltenden Schicht zu vermeiden. Ein Verfahren zur Überwachung des Laserabtragsprozes-ses ist die "Laser Induzierte Plasma Spektroskopie" (LIPS) [1,2,3,4]. Unterschiede im Schichtaufbau bewirken Veränderungen im Spektrum und der Intensität des Plasmas. Ein Nachteil gebräuchlicher LIPS-Systeme sind die hohen Investitionskosten und die komplexe Handhabung. Neueste Entwicklungen in der Spektrometer-Technologie bieten inzwischen sehr kompakte Systeme mit einfacher Handhabung und niedrigen Investitions-kosten [5,6]. Im Laserzentrum der FH Münster wurde ein "low cost"-LIPS-System zur Laserreinigung/-abtrag in einem Excimer-Laser und Nd:YAG-Laser (mit Frequenzvervielfachung) integriert, um den Abtragprozess zu ü-berwachen und ggf. zu regeln. Die Schichterkennung funktioniert über lineare Korrelation mit vorher aufge-nommenem Referenzspektrum [7,8,9]. Wenn der Korrelationskoeffizient sich einem vorher festgelegten Wert nähert, wird der Abtrags-/Reinigungsprozess gestoppt. Erste Tests haben positive Ergebnisse gezeigt und werden zusammen mit dem Verfahren in diesem Artikel beschrieben.
    Original languageUndefined
    Title of host publicationProceedings 2nd Remagener Physiktage 2004, 29 September - 1 October 2005, Remagen, Germany
    EditorsU. Hartmann, M. Kohl-Bareis, P. Hering, G. Lonsdale, J. Bongartz, T.M. Buzug
    Place of PublicationBerlin, Germany
    PublisherVDE Verlag
    Pages288-293
    Number of pages6
    ISBN (Print)3-8007-2838
    Publication statusPublished - 29 Sep 2005

    Keywords

    • METIS-224330
    • IR-52653

    Cite this

    Lentjes, M., Dickmann, K., & Meijer, J. (2005). Prozessüberwachung beim Laserreinigen und Laserschichtabtrag durch Anwendung der Plasmaanalyse mittels "low resolution" Spektrometer. In U. Hartmann, M. Kohl-Bareis, P. Hering, G. Lonsdale, J. Bongartz, & T. M. Buzug (Eds.), Proceedings 2nd Remagener Physiktage 2004, 29 September - 1 October 2005, Remagen, Germany (pp. 288-293). Berlin, Germany: VDE Verlag.