Abstract
Bei der Laserreinigung und dem Laserabtrag an Mehrschichtsystemen ist es von großer Bedeutung, eine Be-schädigung der zu erhaltenden Schicht zu vermeiden. Ein Verfahren zur Überwachung des Laserabtragsprozes-ses ist die "Laser Induzierte Plasma Spektroskopie" (LIPS) [1,2,3,4]. Unterschiede im Schichtaufbau bewirken Veränderungen im Spektrum und der Intensität des Plasmas. Ein Nachteil gebräuchlicher LIPS-Systeme sind die hohen Investitionskosten und die komplexe Handhabung. Neueste Entwicklungen in der Spektrometer-Technologie bieten inzwischen sehr kompakte Systeme mit einfacher Handhabung und niedrigen Investitions-kosten [5,6]. Im Laserzentrum der FH Münster wurde ein "low cost"-LIPS-System zur Laserreinigung/-abtrag in einem Excimer-Laser und Nd:YAG-Laser (mit Frequenzvervielfachung) integriert, um den Abtragprozess zu ü-berwachen und ggf. zu regeln. Die Schichterkennung funktioniert über lineare Korrelation mit vorher aufge-nommenem Referenzspektrum [7,8,9]. Wenn der Korrelationskoeffizient sich einem vorher festgelegten Wert nähert, wird der Abtrags-/Reinigungsprozess gestoppt. Erste Tests haben positive Ergebnisse gezeigt und werden zusammen mit dem Verfahren in diesem Artikel beschrieben.
| Original language | Undefined |
|---|---|
| Title of host publication | Proceedings 2nd Remagener Physiktage 2004, 29 September - 1 October 2005, Remagen, Germany |
| Editors | U. Hartmann, M. Kohl-Bareis, P. Hering, G. Lonsdale, J. Bongartz, T.M. Buzug |
| Place of Publication | Berlin, Germany |
| Publisher | VDE Verlag |
| Pages | 288-293 |
| Number of pages | 6 |
| ISBN (Print) | 3-8007-2838 |
| Publication status | Published - 29 Sept 2005 |
| Event | 2nd Remagener Physiktage 2004: Proceedings 2nd Remagener Physiktage 2004, 29 September - 1 October 2005, Remagen, Germany - Berlin, Germany Duration: 29 Sept 2005 → 1 Oct 2005 |
Conference
| Conference | 2nd Remagener Physiktage 2004 |
|---|---|
| City | Berlin, Germany |
| Period | 29/09/05 → 1/10/05 |
Keywords
- METIS-224330
- IR-52653