Si-epitaxie op het Si(001) oppervlak bestudeerd met ellipsometrie

L.C. Jorritsma, Henricus J.W. Zandvliet, Herbert Wormeester, H.J.M. Oerbekke, Arend van Silfhout

Research output: Contribution to journalArticleAcademic

Original languageUndefined
Pages (from-to)65-70
Number of pages6
JournalNEVAC blad
Volume31
Issue number3
Publication statusPublished - 1993

Keywords

  • METIS-128876

Cite this

Jorritsma, L. C., Zandvliet, H. J. W., Wormeester, H., Oerbekke, H. J. M., & van Silfhout, A. (1993). Si-epitaxie op het Si(001) oppervlak bestudeerd met ellipsometrie. NEVAC blad, 31(3), 65-70.