Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage

Viacheslav Medvedev (Inventor), Andrey Yakshin (Inventor), Frederik Bijkerk (Inventor)

Research output: Patent

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage. Gemäß einem Aspekt weist der Spiegel eine optische Wirkfläche (10a, 20a), ein Spiegelsubstrat (11, 21) und einen Reflexionsschichtstapel (12, 22) zur Reflexion von auf die optische Wirkfläche (10a, 20a) auftreffender elektromagnetischer Strahlung auf, wobei der Reflexionsschichtstapel (12, 22) eine alternierende Abfolge aus Absorber-Schichten (14, 24) aus einem ersten Material und Spacer-Schichten (15, 25) aus einem zweiten Material aufweist, und wobei das zweite Material eine Phosphor-Verbindung oder eine Schwefel-Verbindung ist.
Original languageGerman
Patent numberP21487DE
Priority date13/03/15
Publication statusSubmitted - 10 Mar 2016

Keywords

  • IR-100192
  • METIS-316368

Cite this

Medvedev, V., Yakshin, A., & Bijkerk, F. (2016). Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage. Manuscript submitted for publication. (Patent No. P21487DE).