Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage

Viacheslav Medvedev (Inventor), Andrey Yakshin (Inventor), Frederik Bijkerk (Inventor)

Research output: PatentProfessional

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage. Gemäß einem Aspekt weist der Spiegel eine optische Wirkfläche (10a, 20a), ein Spiegelsubstrat (11, 21) und einen Reflexionsschichtstapel (12, 22) zur Reflexion von auf die optische Wirkfläche (10a, 20a) auftreffender elektromagnetischer Strahlung auf, wobei der Reflexionsschichtstapel (12, 22) eine alternierende Abfolge aus Absorber-Schichten (14, 24) aus einem ersten Material und Spacer-Schichten (15, 25) aus einem zweiten Material aufweist, und wobei das zweite Material eine Phosphor-Verbindung oder eine Schwefel-Verbindung ist.
Original languageGerman
Patent numberP21487DE
Priority date13/03/15
Publication statusSubmitted - 10 Mar 2016

Keywords

  • IR-100192
  • METIS-316368

Cite this

Medvedev, V., Yakshin, A., & Bijkerk, F. (2016). Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage. Manuscript submitted for publication. (Patent No. P21487DE).
@misc{7d8fcc1e6e054919a1b9756886d3b727,
title = "Spiegel, insbesondere f{\"u}r eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage",
abstract = "Die Erfindung betrifft einen Spiegel, insbesondere f{\"u}r eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage. Gem{\"a}{\ss} einem Aspekt weist der Spiegel eine optische Wirkfl{\"a}che (10a, 20a), ein Spiegelsubstrat (11, 21) und einen Reflexionsschichtstapel (12, 22) zur Reflexion von auf die optische Wirkfl{\"a}che (10a, 20a) auftreffender elektromagnetischer Strahlung auf, wobei der Reflexionsschichtstapel (12, 22) eine alternierende Abfolge aus Absorber-Schichten (14, 24) aus einem ersten Material und Spacer-Schichten (15, 25) aus einem zweiten Material aufweist, und wobei das zweite Material eine Phosphor-Verbindung oder eine Schwefel-Verbindung ist.",
keywords = "IR-100192, METIS-316368",
author = "Viacheslav Medvedev and Andrey Yakshin and Frederik Bijkerk",
year = "2016",
month = "3",
day = "10",
language = "German",
type = "Patent",
note = "P21487DE",

}

Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage. / Medvedev, Viacheslav (Inventor); Yakshin, Andrey (Inventor); Bijkerk, Frederik (Inventor).

Patent No.: P21487DE.

Research output: PatentProfessional

TY - PAT

T1 - Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage

AU - Medvedev, Viacheslav

AU - Yakshin, Andrey

AU - Bijkerk, Frederik

PY - 2016/3/10

Y1 - 2016/3/10

N2 - Die Erfindung betrifft einen Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage. Gemäß einem Aspekt weist der Spiegel eine optische Wirkfläche (10a, 20a), ein Spiegelsubstrat (11, 21) und einen Reflexionsschichtstapel (12, 22) zur Reflexion von auf die optische Wirkfläche (10a, 20a) auftreffender elektromagnetischer Strahlung auf, wobei der Reflexionsschichtstapel (12, 22) eine alternierende Abfolge aus Absorber-Schichten (14, 24) aus einem ersten Material und Spacer-Schichten (15, 25) aus einem zweiten Material aufweist, und wobei das zweite Material eine Phosphor-Verbindung oder eine Schwefel-Verbindung ist.

AB - Die Erfindung betrifft einen Spiegel, insbesondere für eine mikrolithographische Projektionsbelichtungsanlage. Gemäß einem Aspekt weist der Spiegel eine optische Wirkfläche (10a, 20a), ein Spiegelsubstrat (11, 21) und einen Reflexionsschichtstapel (12, 22) zur Reflexion von auf die optische Wirkfläche (10a, 20a) auftreffender elektromagnetischer Strahlung auf, wobei der Reflexionsschichtstapel (12, 22) eine alternierende Abfolge aus Absorber-Schichten (14, 24) aus einem ersten Material und Spacer-Schichten (15, 25) aus einem zweiten Material aufweist, und wobei das zweite Material eine Phosphor-Verbindung oder eine Schwefel-Verbindung ist.

KW - IR-100192

KW - METIS-316368

M3 - Patent

M1 - P21487DE

ER -