Stralingsbron voor elektromagnetische straling met een golflengte in het extreem ultraviolet (XUV) golflengtegebied.

Bijkerk Frederik (Inventor), Evgenjevich Yakshin Andrey (Inventor), Reda Akdim Mohamed (Inventor), Willem Kleijn Aart (Inventor)

Research output: Patent

Original languageUndefined
Patent numberNL1032674C
IPCH05G 2/ 00 A I
Priority date13/10/06
Publication statusPublished - 15 Apr 2008

Cite this