Original language | Undefined |
---|---|
Patent number | NL1032674C |
IPC | H05G 2/ 00 A I |
Priority date | 13/10/06 |
Publication status | Published - 15 Apr 2008 |
Stralingsbron voor elektromagnetische straling met een golflengte in het extreem ultraviolet (XUV) golflengtegebied.
Bijkerk Frederik (Inventor), Evgenjevich Yakshin Andrey (Inventor), Reda Akdim Mohamed (Inventor), Willem Kleijn Aart (Inventor)
Research output: Patent