Verfahren zur Herstellung eines reflektiven optischen Elements für die EUV-Lithographie

Alexey Kuznetsov (Inventor), Michael Gleeson (Inventor), Robbert Wilhelmus Elisabeth van de Kruijs (Inventor), Frederik Bijkerk (Inventor)

Research output: Patent

Original languageGerman
Patent numberDE 10 2011 077 983A1
Priority date27/04/11
Publication statusIn preparation - 2011

Keywords

  • METIS-304931

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Kuznetsov, A., Gleeson, M., van de Kruijs, R. W. E., & Bijkerk, F. (2011). Verfahren zur Herstellung eines reflektiven optischen Elements für die EUV-Lithographie. Manuscript in preparation. (Patent No. DE 10 2011 077 983A1).