Verfahren zur Herstellung eines reflektiven optischen Elements für die EUV-Lithographie

Alexey Kuznetsov (Inventor), Michael Gleeson (Inventor), Robbert Wilhelmus Elisabeth van de Kruijs (Inventor), Frederik Bijkerk (Inventor)

Research output: Patent

Keywords

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title = "Verfahren zur Herstellung eines reflektiven optischen Elements f{\"u}r die EUV-Lithographie",

keywords = "METIS-304931",

author = "Alexey Kuznetsov and Michael Gleeson and \{van de Kruijs\}, \{Robbert Wilhelmus Elisabeth\} and Frederik Bijkerk",

year = "2011",

language = "German",

type = "Patent",

note = "DE 10 2011 077 983A1",

}