Werkwijze voor het beschermen van een optisch element in een stralingsbron voor elektromagnetische straling met een golflengte in het extreem ultraviolet (XUV) golflengtegebied en stralingsbron.

Carlo Wieggers Rob; Jan Goedheer Willem; Bijkerk Frederik

Werkwijze voor het beschermen van een optisch element in een stralingsbron voor elektromagnetische straling met een golflengte in het extreem ultraviolet (XUV) golflengtegebied en stralingsbron.

Carlo Wieggers Rob (Inventor), Jan Goedheer Willem (Inventor), Bijkerk Frederik (Inventor)

Laser Physics & Nonlinear Optics

Research output: Patent

Original language	Undefined
Patent number	NL1034039C
IPC	H05G 2/ 00 A I
Priority date	26/06/07
Publication status	Published - 30 Dec 2008

Cite this

@misc{6085c46050ce43b29396f483b6cc8418,

title = "Werkwijze voor het beschermen van een optisch element in een stralingsbron voor elektromagnetische straling met een golflengte in het extreem ultraviolet (XUV) golflengtegebied en stralingsbron.",

author = "Rob, {Carlo Wieggers} and Willem, {Jan Goedheer} and Bijkerk Frederik",

year = "2008",

month = dec,

day = "30",

language = "Undefined",

type = "Patent",

note = "NL1034039C; H05G 2/ 00 A I",

}