Werkwijze voor het splitsen van een bundel met elektromagnetische straling met golflengtes in het extreem ultraviolet (EUV) en het infrarood (IR) golflengtegebied en optisch tralie en optische inrichting daarvoor

Frederik Bijkerk (Inventor), F.A. van Goor (Inventor)

Research output: Patent

Original languageUndefined
Patent number2002545
Priority date24/08/10
Publication statusSubmitted - 24 Aug 2010

Keywords

  • METIS-267730

Cite this

@misc{59b9011a34ec45fd9fb731b4b96f0190,
title = "Werkwijze voor het splitsen van een bundel met elektromagnetische straling met golflengtes in het extreem ultraviolet (EUV) en het infrarood (IR) golflengtegebied en optisch tralie en optische inrichting daarvoor",
keywords = "METIS-267730",
author = "Frederik Bijkerk and {van Goor}, F.A.",
year = "2010",
month = "8",
day = "24",
language = "Undefined",
type = "Patent",
note = "2002545",

}

TY - PAT

T1 - Werkwijze voor het splitsen van een bundel met elektromagnetische straling met golflengtes in het extreem ultraviolet (EUV) en het infrarood (IR) golflengtegebied en optisch tralie en optische inrichting daarvoor

AU - Bijkerk, Frederik

AU - van Goor, F.A.

PY - 2010/8/24

Y1 - 2010/8/24

KW - METIS-267730

M3 - Patent

M1 - 2002545

ER -